Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (далее —установки), предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от
микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.